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凈化車間施工過程中需要注意的方面：
1、首先確認施工工程的設計圖紙和要求，形成合理的方案。各個部門之間要相互溝通，研究作業過程中必須注意的事項。
2、檢查施工過程中所有的用的材料，設備是否達到所需要的標準，檢查合格后方可使用。
3、施工過程中注意施工進度及質量，施工檢查記錄表和施工驗收記錄應及時填寫，文件與工程要同步。
4、凈化車間施工過程要有先后順序，可以同時施工但是要注意彼此之間的關系，不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料應該有防雨雪等措施，防止材料氧化腐朽，重要的器材要設置專門的保護區。
5、嚴格執行施工管理制度，現場要做好安全防護以及所有施工人員的安全培訓。
6、節能環保，在凈化車間施工過程中，運輸、儲存、施工過程中，禁止嚴禁污染環境。
無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵車間也叫凈化車間、凈化室、潔凈室，就是指將一定室內空間范圍內之空氣中的塵粒、危害空氣、病菌等之空氣污染物清除，并將房間內之溫度、潔凈度、房間內工作壓力、氣流速度氣流遍布、噪聲震動及照明燈具、靜電感應操縱在某一要求范圍內，而所給與非常設計方案之屋子。亦就是無論外在之空氣標準怎樣轉變，其房間內均能俱有保持原來所設置規定之潔凈度、溫度濕度及工作壓力等特性之特點。針對無塵車間，人們要掌握生產車間的主要用途、生產工藝流程，針對無塵車間的空氣潔凈度、溫度、環境濕度等規定。次之要充足掌握無塵車間的各功能分區的區劃，以明確各生產工藝流程的空氣潔凈度級別和各種各樣主要參數規定。
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